Das Wort Vakuum stammt vom lateinischen Wort „Vacuus“ ab, was leer bedeutet.
Die Geschichte der Vakuumtechnologie reicht eine ganze Weile zurück. Im alten Griechenland benannte Democtritus (450-375 v. Chr.) bereits den leeren Raum zwischen Molekülen. Aristoteles bestritt die Existenz von Vakuum, weil es der Vorstellung widersprach, dass die Natur aus vier Elementen besteht: Wasser, Erde, Luft und Feuer.